西北工业大学机电学院微机电系统及纳米技术介绍

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西北工业大学机电学院微机电系统及纳米技术介绍正文

微机电系统及纳米技术是研究如何设计与制造特征尺度在微米、纳米量级并具有特定功能的器件与系统的一门新兴综合交叉学科，学科内涵涉及微纳器件与系统的设计、加工、封装与测试等多个方面。在基础理论方面，微机电系统及纳米技术学科将机械工程这门传统学科与物理、化学、光学、声学、材料学、电子学、生命科学等基础理论的发展前沿紧密地结合在一起，为基础科学研究提供了新的重要研究对象以及令人振奋的工程应用背景。在工程应用方面，微机电系统及纳米技术学科为其它工程学科发展提供了强有力支撑，成为推动及引领工程应用领域发展的重要前沿科技之一。从微陀螺、微加速度计、微光开关、微麦克风，到人造视网膜、人工耳蜗，目前已经有超过150多种的微纳器件与系统分别服务于航空、航天、航海、汽车电子、消费电子、生物医疗等各个领域，极大地提高了人类认识和改造客观世界的能力，改善了人类的生活质量。截止到2012年，微机电产品的市场已经超过140亿美元。在学科体系方面，微机电系统与纳米技术学科与机械工程、仪器科学与技术、光学工程、力学、材料科学与工程、动力工程及工程热物理、电气工程、电子科学与技术、控制科学与工程、化学工程与技术等一级学科都有着交叉与联系，加上其微小的尺度、集成化、智能化的特点，使得微机电系统及纳米技术学科成为当前国际上前沿热点方向。
顺应国际发展的趋势及用人单位的需求，西北工业大学在机械工程一级学科下面设立了微机电系统及纳米技术二级学科，并在国家985工程、211工程的重点建设下，固定资产投资超过4000万元，建成一条四英寸MEMS硅基工艺线、聚合物工艺线、封装测试线等，硬件条件达到国内一流、国际先进水平。建成了陕西省微纳米系统重点实验室和空天微纳系统教育部重点实验室。为微机电系统及纳米技术专业的硕士生培养提供了世界一流的硬件平台支持。
目前该专业拥有苑伟政、姜澄宇、马炳和、常洪龙、乔大勇、虞益挺等六名教授，李晓莹、刘笃喜、叶芳、黎永前、邓进军、何洋等六名副教授，其中长江学者1名、中组部青年拔尖人才1名、教育部新世纪优秀人才3名、德国洪堡学者1名。在“十五”和“十一五”期间承担了863计划、国家自然科学基金等多项国家级科研项目，科研经费超过3500万元，获得授权发明专利60余项，发表SCI论文超过50余篇，获得国家技术发明奖2项、省部级一等奖3项，为该专业硕士生的培养提供了优质的师资力量。

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