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一 、培养目标
培养适应社会主义现代化建设需要，在德、智、体等方面全面发展，在精密仪器及机械学科领域中，掌握坚实的基础理论和系统的专业知识，能够从事科学研究工作、高等学校教学或独立担负专门技术工作的高级专业人才。其基本要求是：
1．热爱祖国、诚信守法，具有良好的道德品质和敬业精神。
2．培养具有严谨求实的科学作风，在所从事的研究领域中，具有较强的应用研究能力，能独立担负专门技术工作。
3．掌握一门外语，能用口语进行简单交流并能熟练阅读本专业文献资料和撰写论文摘要。
4．具有健康的体魄和良好的心理素质。
二、学习年限
学制一般为两年半，其中课程学习和教学实践时间安排为一年半，学位论文工作为一年。硕士生应在规定的学习期限内完成培养计划规定的任务，并通过学位论文答辩后方可毕业；
三、研究方向
1．测试技术与仪器
先进光电仪器；光电信号检测；
2．微光机电系统
MOEMS 微制造技术； MOEMS 材料与器件
3．精密光学设计与制造
光学系统设计 ; 光学制造技术；
四、培养方式与方法
1．日常思想教育与政治理论学习相结合。硕士生应该认真学好政治理论课，积极参与政治学习、形势教育和公益活动。
2．课程学习与课题研究并重。既要培养硕士生掌握坚实的理论基础知识和专门知识，又要培养他们具有科学研究的能力。
3．在教学上强调以自学为主，着重培养学生独立分析和解决问题的能力。教师要因材施教，启发学生深入思考和正确判断。
4．对学生的培养采取导师负责与研究室集体培养相结合的方式，成立指导小组，明确导师责任，并吸收院外专家加入指导小组。
五、课程设置与学分
1 ．课程 设置中的 学位课主要应是公共课及学科专业基础课，注重基础性、宽广性。选修课应强调扩大专业知识面，具有先进性和实用性。
2．学位课程必须考试，选修课可以考试，也可以考查。
3．硕士生在学习期限内应修课程总学分不低于 32 学分，其中学位课 21 学分，选修课不少于 11 学分。
4．为拓宽知识面，每位研究生要求听学术讲座 5 次以上。
5．学生在完成全部课程学习并取得学分后，方可进行学位论文选题报告。
六、学位论文
硕士生的论文工作应不少于一年时间，要经过文献检索、调研、开题报告、实验、论文写作及论文答辩等环节。
1．学位论文选题
应着重选择对国防和国民经济具有实用价值或理论意义的课题；课题要有先进性，论文要有新见解、新内容。最迟在第三学期末提出学位论文选题报告。在导师所在的院（系）做开题报告，广泛征求意见，进行修改，经导师同意后，制定论文实施计划。
2．学位论文要求
（1）硕士学位论文应在理论分析、设计方案、测试技术、仪器设备、工艺方法等方面有一定的新见解、改进或革新。
（2）硕士学位论文应由本人独立完成，与其他人共同研究的部分应加以说明。
（3）硕士学位论文一般应包括：摘要、课题重要性的阐述、对前人工作的评论、以及理论部分、实验方法、试验装置或计算方法的论述、数据分析和讨论、结论、参考文献等。学位论文的写作和装印要符合“西安工业学院学位论文规范”。
3．学位论文答辩
论文答辩前，必须在公开出版（有 CN 号）的学术刊物上发表一篇以上的与学位论文相关的论文（第一作者）。按有关规定组织评审答辩，答辩通过后，经院、校学位委员会审查合格后，方可授予硕士学位。